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激光干涉儀的精度影響因素及使用驗(yàn)證

點(diǎn)擊次數(shù):1094次  更新時(shí)間:2022-07-06
  激光干涉儀作為現(xiàn)代精密測(cè)量?jī)x器的代表,以光波為載體,具有測(cè)量精度高、測(cè)量速度快、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度分辨率高的特點(diǎn)。廣泛應(yīng)用于精密制造、測(cè)量等行業(yè),在精密位移、直線度、垂直度等測(cè)量領(lǐng)域發(fā)揮著重要作用。
  
  在干涉儀的實(shí)際使用中,需要確認(rèn)其在各種測(cè)量應(yīng)用中的真實(shí)精度水平,以確保測(cè)量數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性和可靠性。干涉儀的測(cè)量讀數(shù)與激光波長(zhǎng)有關(guān),因此激光頻率的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性是干涉儀測(cè)量精度的保證。此外,干涉儀環(huán)境條件補(bǔ)償系統(tǒng)(壓力、溫濕度傳感器)的讀數(shù)精度對(duì)測(cè)量精度有重要影響。
  
  綜上所述,影響激光干涉儀測(cè)量精度的因素包括:
  
  1、激光頻率(波長(zhǎng))和頻率穩(wěn)定性;
  
  2、測(cè)量讀數(shù)軟件系統(tǒng)造成的誤差;
  
  3、反射鏡、角錐棱角誤差;
  
  4、溫濕度、壓力傳感器誤差;
  
  當(dāng)然,具體測(cè)量任務(wù)中的測(cè)量精度也與測(cè)量人員、現(xiàn)場(chǎng)環(huán)境條件等因素有關(guān)。
  
  激光干涉儀在購(gòu)買和投入使用前應(yīng)驗(yàn)證其關(guān)鍵性能。隨著使用壽命的增加,干涉儀(包括環(huán)境補(bǔ)償系統(tǒng))的性能可能會(huì)因老化或使用不當(dāng)而下降,從而影響測(cè)量精度。
  
  因此,有必要定期校準(zhǔn)干涉儀測(cè)量系統(tǒng)的關(guān)鍵性能參數(shù),以確保在精確測(cè)量應(yīng)用中獲得準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)結(jié)果。根據(jù)測(cè)量驗(yàn)證程序的要求,需要定期校準(zhǔn)干涉儀的激光頻率、測(cè)距誤差、測(cè)角誤差和環(huán)境補(bǔ)償傳感器。
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